C0029 ステンレス(SUS304)真空チャンバー

対応時期	2020年4月
納入領域	半導体
用途	真空容器
手配範囲	材料、切削、溶接、研磨、検査
主要材質	SUS304
主な板厚	1mm, 3mm, 18mm 20mm
概略寸法	φ500*120L 他
仕様	真空、水密、加圧
案件の特徴	3体で1式物の水冷式の真空チャンバーを製作しました。約2ヶ月にて製作を行いました。電解研磨を行いました。ジャケット部に耐圧試験を行いました。Heリークテストを行いました。