大きく分けて、材料にかかる費用、製作にかかる費用、検査にかかる費用、管理費等その他の費用からなります。

材料の費用に関しては、大きな材料には多くの費用がかかるのは当然ですが、大きい材料から切り出す際の費用などが入ってきたり、仕様によっては材料を管理する費用が入ることもあります。

製作の費用に関しては、塑性加工、溶接、切削加工、穴あけ加工、シール面の形成や熱処理、ブラストやバフ研磨、電解研磨などの表面処理、必要となる工具の費用に至るまで多岐にわたります。また、製作の際に必要となるジグの設計費用や製作費用がかかる場合もあります。溶接の開先設計の費用が必要な場合もあります。

検査の費用に関しては、寸法検査に加えて、ガスケットの費用や、ヘリウムリークディテクターによるリークテスト費用が必要になります。ジャケット型チャンバーであれば水路の耐圧気密試験が必要になることもあります。また、チャンバーを真空封止するための蓋が同時手配とならない場合は、封止のためのジグを設計・製作する費用も必要になります。

また上記とは別に、支給された図面だけでは実際の製作が行えない場合は、製作図面の作成が必要になることもあります。

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